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1、設(shè)備工藝流程:

上料→去損傷→預(yù)清洗→純水水洗→單晶制絨→單晶制絨→純水清洗→單晶制絨→后清洗→純水清洗→HF+HLC清洗→HF+HLC清洗→純水清洗→預(yù)脫水→烘干→烘干→烘干→烘干→下料

2、設(shè)備特點(diǎn)：

1.產(chǎn)能：600片/批  12000片/H；

2.工藝槽循環(huán)量可調(diào)；

3.潔凈干燥區(qū)域，自潔凈干燥系統(tǒng)；

4.制絨金字塔均勻，刻蝕深度可調(diào)；

5.支持最薄120um硅片；

6.無需臭氧；

7.快速換液，自動補(bǔ)液，在線加熱；

8.支持MES、RFID以及選配在線稱重功能；

3、設(shè)備參數(shù)

1.硅片尺寸：18X/210/230可選；

2.破片率 :

基于M10硅片尺寸碎片率：≤0.01%，基于M12硅片尺寸碎片率≤0.015%

3.設(shè)備Uptime：≥98%

4.可實(shí)現(xiàn)絨面大小在1-5um間連續(xù)可調(diào)；

5.腐蝕深度均勻性：同一槽內(nèi)各硅片之間腐蝕深度極差≤0.2μm